氣柜出氣管安全罩帽
當氣柜的塔節和鐘罩完全落底時,設置于鐘罩頂部的安全罩帽就會罩住氣柜的出氣管的入口,當然對于僅有一根進出氣管的氣柜而言,安全罩帽就置于這根進出氣管的管口上了。安全罩帽的設計主要也是用于防止鐘罩落底后
繼續抽氣時把鐘罩頂抽癟。出氣管安全罩帽見圖 5。
由圖 5 可知,安全罩帽管插入水槽液面應有一定深度,可依據鐘罩內氣體壓力計算確定。出氣管口也應高出水槽液面一定高度,可根據可能的抽氣負壓值確定。在安全罩帽頂部設置有放空管和放空閥,這是為氣柜開車、停車時置換氣體用。在安全罩帽頂部的放空管根部與鐘罩頂部之間還設置有一旁路和閥門,這是專門針對僅有一根進出氣管的氣柜所用,以便于氣柜開始進氣工作時通過該旁路讓氣體能進入鐘罩內浮起鐘罩。對于分別設有進氣管和出氣管的氣柜,這一旁路和閥門是可以不用設的。
對于直升式氣柜,安全罩帽的設置與實施是非常容易和可靠的。但對于螺旋式氣柜,當出氣管直徑比較大時,安全罩帽管的直徑勢必也要很大,要使安全罩帽螺旋旋轉落在出氣管上則會有一定難度,故螺旋式氣柜通常不必設安全罩帽。
繼續抽氣時把鐘罩頂抽癟。出氣管安全罩帽見圖 5。

對于直升式氣柜,安全罩帽的設置與實施是非常容易和可靠的。但對于螺旋式氣柜,當出氣管直徑比較大時,安全罩帽管的直徑勢必也要很大,要使安全罩帽螺旋旋轉落在出氣管上則會有一定難度,故螺旋式氣柜通常不必設安全罩帽。
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